特許

J-GLOBAL ID：200903057862778380

液体放出及び気化システム

発明者： ジェームズ エッチ.ユーイング
出願人/特許権者： エムケーエス インスツルメント,インコーポレーテッド
代理人 (1件)： 岡部 正夫 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-229801
公開番号（公開出願番号）：特開平5-253402
出願日： 1992年08月28日
公開日（公表日）： 1993年10月05日
要約：

【要約】【目的】 ポンプを通過する液体にさらされる部分を最小にして、連続的一定体積速度で液体をポンピングする改良された気化系を提供する。【構成】 本発明に用いられるポンプにおいては、非圧縮性液体に圧力をかけるときは流体出口に正圧をかけるように閉じた通路の容積を減らし、当該液体から圧力を抜くときは流体入口に関し負圧をかけるように当該通路の容積を増す装置によって区画と通路が分離されている。

請求項（抜粋）：

複数の比較的薄いディスク、互に平行に接触するよう配置されたディスクでスタックを形成するようにディスクを支持する装置、スタックを形成するように上記ディスクを一緒にかたよらせる装置、液体の蒸発温度以上の温度にディスクを加熱する装置、ディスクが上記かたよらせ装置に対向して分離し、液体が上記ディスク間を通して強制されディスク間の空間にフラッシュ蒸発されるように、ディスク間に加熱液体を強制する装置からなる、液体をガスに気化する装置。