基板の位置決め装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：立石篤司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-087339
公開番号（公開出願番号）：特開平8-264624
出願日： 1995年03月20日
公開日（公表日）： 1996年10月11日
要約：

【要約】【目的】装置構成を簡略化し、しかもプリアライメント精度の向上を図る。【構成】ステージ22が基準平面内の基準位置に来ると、ロードアーム62によりウエハ60が保持されステージ22上に移動される。すると、コントローラ24では、モータ32(又は38)を介してステージ22をY方向に移動させる。このステージの移動制御中に、コントローラ24では干渉計26の出力及びセンサ50a、50bの出力に基づいてウエハ60の回転誤差を算出する。この回転誤差が算出されると、コントローラ24では、算出された回転誤差に対応する量だけウエハ60を回転させるよう旋回装置16とアーム62とから成る旋回アーム12を駆動制御する。これにより、旋回アーム12によりステージ22上でウエハ60の回転方向の位置決めが行なわれる。

請求項（抜粋）：

少なくとも所定の基準平面内で2次元移動可能なステージ上のホルダに外周の少なくとも一部に直線部分を有する基板をロードする際に、当該基板の前記直線部分が所定の基準方向とほぼ平行となるように前記基板を位置決めする基板の位置決め装置であって、前記ホルダ上の所定の箇所に設けられ、非接触で前記基板の直線部分を光学的に検出する少なくとも2つの基板検出センサと、前記ステージを駆動する駆動手段と、前記ステージの移動位置を検出する位置検出手段と、前記ステージが前記基準平面内の基準位置に来ると、前記基板を保持してステージ上に移動させる保持部材と、前記ステージ上に基板が移動されたとき、前記ステージ駆動手段を介して前記ステージを所定方向に移動させるステージ移動制御手段と、前記ステージの移動制御中に前記位置検出手段の出力及び前記基板検出センサの出力に基づいて基板の前記直線部分の基準方位からの相対的な回転誤差を算出する演算手段と、前記ステージ上で当該基板を前記基準平面と平行な面内で回転させる基板回転手段と、前記算出された回転誤差に対応する量だけ基板を回転させるよう前記基板回転手段を駆動制御する制御手段と、を有する基板の位置決め装置。

IPC (3件)：

H01L 21/68 , G03F 9/00 , H01L 21/027

FI (4件)：

H01L 21/68 M , G03F 9/00 H , H01L 21/30 515 G , H01L 21/30 525 W

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