特許

J-GLOBAL ID：200903057865839917

フォトレジスト現像廃液からの再生現像液の回収再利用装置

発明者： 菅原 広
出願人/特許権者： オルガノ株式会社
代理人 (1件)： 三浦 進二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-331826
公開番号（公開出願番号）：特開2000-155426
出願日： 1998年11月24日
公開日（公表日）： 2000年06月06日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 装置の末端付近に微粒子除去を目的として設置される濾過膜処理装置の差圧上昇を防止し、膜の寿命を長くして、装置の安定した運転及びランニングニストの低減を図る。【解決手段】 現像廃液から水酸化テトラアルキルアンモニウム(TAAH)溶液を回収精製する回収精製処理装置、TAAH溶液から脱気脱泡する脱気脱泡処理装置、および、脱気脱泡されたTAAH溶液から不純物微粒子を除去する濾過膜処理装置をこの順序で配置し、現像廃液からの再生現像液の回収再利用装置を構成する。また、現像廃液から脱気脱泡する脱気脱泡処理装置、脱気脱泡された現像廃液からフォトレジスト等の不純物を除去してTAAH溶液を得るイオン交換処理装置及び/又はNF膜分離処理装置、および、TAAH溶液から不純物微粒子を除去する濾過膜処理装置をこの順序で配置し、現像廃液からの再生現像液の回収再利用装置を構成する。

請求項（抜粋）：

フォトレジスト現像廃液から水酸化テトラアルキルアンモニウム溶液を回収精製する回収精製処理装置、前記水酸化テトラアルキルアンモニウム溶液から脱気脱泡する脱気脱泡処理装置、および、脱気脱泡された水酸化テトラアルキルアンモニウム溶液から不純物微粒子を除去する濾過膜処理装置をこの順序で含むことを特徴とするフォトレジスト現像廃液からの再生現像液の回収再利用装置。

IPC (12件)：

G03F 7/30 ,  B01D 19/00 ,  B01D 19/00 101 ,  B01D 61/02 500 ,  B01D 61/08 ,  C02F 1/42 ,  C02F 1/44 ,  C02F 1/461 ,  C02F 1/469 ,  G03F 7/32 ,  B01D 61/14 500 ,  B01D 61/18

FI (13件)：

G03F 7/30 ,  B01D 19/00 H ,  B01D 19/00 C ,  B01D 19/00 101 ,  B01D 61/02 500 ,  B01D 61/08 ,  C02F 1/42 D ,  C02F 1/44 F ,  G03F 7/32 ,  B01D 61/14 500 ,  B01D 61/18 ,  C02F 1/46 101 C ,  C02F 1/46 103

Fターム (94件)：

2H096AA25 ,  2H096AA26 ,  2H096GA09 ,  2H096LA25 ,  2H096LA30 ,  4D006GA05 ,  4D006GA06 ,  4D006GA07 ,  4D006GA17 ,  4D006GA32 ,  4D006HA01 ,  4D006HA02 ,  4D006HA18 ,  4D006HA42 ,  4D006KA02 ,  4D006KA53 ,  4D006KA55 ,  4D006KA57 ,  4D006KA71 ,  4D006KB11 ,  4D006KB14 ,  4D006KB17 ,  4D006KE04P ,  4D006KE06P ,  4D006KE07P ,  4D006KE08P ,  4D006KE12P ,  4D006KE13P ,  4D006KE15Q ,  4D006KE17Q ,  4D006MA01 ,  4D006MA03 ,  4D006MA11 ,  4D006MA12 ,  4D006MA13 ,  4D006MA14 ,  4D006MA22 ,  4D006MA25 ,  4D006MB05 ,  4D006MB06 ,  4D006MC22 ,  4D006MC23 ,  4D006MC24 ,  4D006MC29 ,  4D006MC30 ,  4D006MC33 ,  4D006MC45 ,  4D006MC48 ,  4D006MC54 ,  4D006MC65 ,  4D006PA01 ,  4D006PA04 ,  4D006PA10 ,  4D006PB08 ,  4D006PB20 ,  4D006PB23 ,  4D006PB70 ,  4D006PC01 ,  4D011AA17 ,  4D011AD03 ,  4D025AA09 ,  4D025AB36 ,  4D025AB38 ,  4D025BA08 ,  4D025BA09 ,  4D025BA10 ,  4D025BA11 ,  4D025BA14 ,  4D025BA16 ,  4D025BA17 ,  4D025BA22 ,  4D025BA25 ,  4D025BB02 ,  4D025BB03 ,  4D025BB04 ,  4D025BB07 ,  4D025BB09 ,  4D025CA05 ,  4D025CA06 ,  4D025DA05 ,  4D025DA06 ,  4D061DA08 ,  4D061DB18 ,  4D061DC09 ,  4D061EA03 ,  4D061EA04 ,  4D061EA09 ,  4D061EB02 ,  4D061EB13 ,  4D061EB39 ,  4D061FA03 ,  4D061FA08 ,  4D061FA09 ,  4D061GC14