特許
J-GLOBAL ID：200903057865915303
シャドウマスク透過率測定機
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
樺澤 襄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-328640
公開番号（公開出願番号）：特開平7-192618
出願日： 1993年12月24日
公開日（公表日）： 1995年07月28日
要約：
【要約】【目的】 シャドウマスクを装着する前のフラットマスクの状態で微細孔の透過率を簡単な構成で測定できるシャドウマスク透過率測定機を提供する。【構成】 フラットマスク1を測定ステージ11上に載置し、支持柱を回動して光源16および透過光検出器17間の測定軸を電子ビームの角度に合わせて傾けた後に、測定開口部13を通過して透過光検出器17の入力光量を検出し記録計22に記録する。支持柱の角度をそのままにして、フラットマスク1を測定ステージ11に載置し、測定対象となる部分を測定開口部13に合わせる。この状態で、フラットマスク1の微細孔を通過した光を透過光検出器17にて検出し、出力光量として記録計22の演算回路に記録する。フラットマスク1を介した状態の光量をフラットマスク1を介さない状態の光量で割った値を透過率として計算して表示装置に表示する。測定に必要な位置で繰り返し、フラットマスク1のマスク透過率を測定する。
請求項（抜粋）：
測定開口部を有し、多数の微細孔を有する平坦なシャドウマスクの前記微細孔を前記測定開口部に位置させて前記微細孔を検査する測定ステージと、前記測定開口部を介して光を照射し、この測定開口部に対する傾斜角を可変可能な光源と、この光源に対して前記測定開口部を介して直線上に対向し、前記光源の傾斜角の変化に従って位置が同期して変化し、前記光源からの光を測定する光検出器とを具備したことを特徴とするシャドウマスク透過率測定機。
引用特許：
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