特許

J-GLOBAL ID：200903057866052678

走査型荷電粒子顕微鏡

発明者： 吉村 俊之 ,  戸所 秀男 ,  江角 真 ,  大高 正 ,  山本 治朗 ,  寺澤 恒男
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-023469
公開番号（公開出願番号）：特開平10-221046
出願日： 1997年02月06日
公開日（公表日）： 1998年08月21日
要約：

【要約】【課題】チャージアップの防止、およびパターン表面物質の同定を可能とした走査型荷電粒子顕微鏡を提供する。【解決手段】荷電粒子線の照射条件として少なくとも二条件を送置使用者の操作により、もしくは自動的に変化させて、この際に発生する信号を独立に取り込み、上記信号の演算により観察試料表面の構造を表示する機構を備える。

請求項（抜粋）：

観察試料に集束した荷電粒子線を照射するためのレンズ系、上記観察試料を載せて移動するステージ系、上記荷電粒子線を上記観察試料上で走査するために上記荷電粒子線を偏向するための偏向系、上記荷電粒子線照射に伴って上記観察試料の表面部分から発生する信号を捕獲する検出系、上記信号から得られる画像データを表示する表示系を含む走査型荷電粒子顕微鏡において、上記荷電粒子線を上記観察試料表面に照射するための照射条件として、少なくとも二条件を装置使用者の要求により、もしくは自動的に変化させる機構系、および、上記照射条件の変化に伴う荷電粒子光学系の調整を自動的に行う機構系を備え、少なくとも二条件の上記照射条件における上記信号を独立に取り込み、複数の上記信号、もしくは上記信号から得られる複数の画像データの処理により、上記観察試料表面の構造を表示する機構を備えたことを特徴とする走査型荷電粒子顕微鏡。

IPC (2件)：

G01B 15/00 ,  H01J 37/22 502

FI (2件)：

G01B 15/00 B ,  H01J 37/22 502 H

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭62-031931
  
• 特開昭59-040527