特許

J-GLOBAL ID：200903057868162268

基板搬送方法

発明者： 松永 建久 ,  平山 剛司 ,  佐藤 明博
出願人/特許権者： 株式会社日立国際電気
代理人 (1件)： 和泉 良彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-187289
公開番号（公開出願番号）：特開2002-009135
出願日： 2000年06月22日
公開日（公表日）： 2002年01月11日
要約：

【要約】【課題】ボートの材質や表面状態の変化に対応して溝の位置の測定を安定して行う。【解決手段】多数のウェーハを保持する溝50を有するボート10の溝50に、3次元に動くウェーハ搬送機1を用いてウェーハを搬送する基板搬送方法において、ウェーハ搬送機1に設けた複数の位置検出センサ5-1〜5-4の感度設定を溝50を用いて行った後、該位置検出センサ5-1〜5-4により溝50の位置を測定し、該測定結果に基づきウェーハを搬送する。

請求項（抜粋）：

多数の基板を保持する溝を有する基板保持具の前記溝に、3次元に動く基板搬送機を用いて基板を搬送する基板搬送方法において、前記基板搬送機に設けた位置検出センサの感度設定を、前記溝を用いて行った後、該位置検出センサにより前記溝の位置を測定し、該測定結果に基づき前記基板を搬送することを特徴とする基板搬送方法。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B65G 49/06 ,  B65G 49/07

FI (3件)：

H01L 21/68 F ,  B65G 49/06 Z ,  B65G 49/07 C

Fターム (8件)：

5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031GA36 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031HA61 ,  5F031JA02 ,  5F031JA51