特許
J-GLOBAL ID：200903057870964142
酸化珪素被膜の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西川 惠清 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-315344
公開番号（公開出願番号）：特開平10-158010
出願日： 1996年11月26日
公開日（公表日）： 1998年06月16日
要約：
【要約】【課題】 製造コストや危険性を低くすることができ、また基材に対する制限を少なくすることができる酸化珪素被膜の製造方法を提供する。【解決手段】 ケイフッ化アンモニウムを含む水溶液中に(NH4 )2 SiF6+2H2 O⇔SiO2 +4HF+2NH4 Fの平衡を右に進める添加剤を添加して酸化珪素含有溶液を調製する。40°C以上の温度の酸化珪素含有溶液と基材2とを接触させて基材の表面に酸化珪素被膜3を形成する。特殊で高価な装置を用いなくても基材2の表面に酸化珪素被膜を形成することができる。また酸化珪素含有溶液はpHが約4の弱酸性であり、取扱上に大きな危険が伴わないで基材2の表面に酸化珪素被膜3を形成することができる。また酸でエッチングされ易い基材や変質し易い基材2にも製膜することができる。
請求項（抜粋）：
ケイフッ化アンモニウムを含む水溶液中に(NH4 )2 SiF6 +2H2 O⇔SiO2 +4HF+2NH4 Fの平衡を右に進める添加剤を添加して酸化珪素含有溶液を調製し、40°C以上の温度の酸化珪素含有溶液と基材とを接触させて基材の表面に酸化珪素被膜を形成することを特徴とする酸化珪素被膜の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C01B 33/12 C
, C03C 17/25 A
