容積式逆流冷却形多段真空ポンプ装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：石田敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-240201
公開番号（公開出願番号）：特開平8-100778
出願日： 1994年10月04日
公開日（公表日）： 1996年04月16日
要約：

【要約】【目的】容積式逆流冷却形多段真空ポンプ装置において、ハウジング内のガス温度によって、冷却器(3)から真空ポンプの冷却液槽に至る配管に設けられた開閉弁(10)を開閉することによりハウジング内のガス温度が設定されるようにする。【構成】第1ポンプ区分で圧縮されたガスは該ポンプ区分の吐出口より、外周気体流路(14)を通って、次段のポンプ区分の吸込口に至る。この外周気体流路(14)の外側には、伝熱媒体(6)が満たされている冷却液槽(5)があるので、外周気体流路を流れるガスと伝熱媒体の熱交換が行われる。冷却液槽(5)の上部および下部より各一本の配管(1)(2)で接続する冷却器を設け、該冷却液槽の下部より該冷却器(3)に至る配管には、伝熱媒体を循環するポンプとハウジング内ガス温度によって作動させる開閉弁(10)が設けられる。

請求項（抜粋）：

容積式真空ポンプが複数のポンプ区分により形成され、吸込口は第1ポンプ区分に設け、吐出口は最終のポンプ区分に設け、各ポンプ区分に共通の2本の軸が設けられ、該2本の軸に支承される複葉形ロータが設けられ、各ポンプ区分を構成し、該複葉形ロータを内蔵する該ハウジングには該ハウジングの外周部に各ポンプ区分の吐出口を次段ポンプ区分の吸込口に連通する外周気体流路、逆流冷却用気体を前段のポンプ区分のハウジングに導く流路、および該外周気体流路の外周に位置する冷却液槽が設けられている、容積式逆流冷却形多段真空ポンプにおいて、該冷却液槽上部および下部より各1本の配管により接続された冷却器と、該配管途中に伝熱媒体を循環するための循環ポンプを真空ポンプ周辺に設け、冷却液槽と配管、循環ポンプ、およびこれに接続する冷却器内には、伝熱媒体を充満し、熱媒体の流れをハウジング内ガス温度によって開閉するための弁を冷却液槽と冷却器とを連結する配管部の途中に設けたことを特徴とする容積式逆流冷却形多段真空ポンプ装置。

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平2-070990
パツケージ形スクリユー圧縮機
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-310768 出願人：株式会社日立製作所, 日立土浦エンジニアリング株式会社
特開平2-149795

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