特許
J-GLOBAL ID：200903057874815583
ライフタイム測定装置及びこれを用いた測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
舘野 公一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-272411
公開番号（公開出願番号）：特開平6-097248
出願日： 1992年09月16日
公開日（公表日）： 1994年04月08日
要約：
【要約】【目的】 高出力の連続波長光の光源を用い、これを短波長カットフィルターまたはバンドパスフィルターと組合わせて、半導体単結晶の高ライフタイム化、計測信号の微弱化を克服し、ライフタイムを高精度に測定する。【構成】 高出力の連続波長光を放出し得る光源18を備えている。この光源18は、半導体試料16に対し接離する方向に移動自在に配置されている。光源18の前面には短波長カットフィルターまたはバンドパスフィルター19が配置され、バンドギャップ・エネルギー相当の波長光が効率よく内部キャリアを励起し、短波長成分は除去される。また、その前面にND(Neutral Density)フィルター21が着脱自在に配置される。NDフィルター21の透過率で半導体試料16面での光強度を粗調整し、光源18と半導体試料16表面との間の距離により半導体試料16面での光強度を微調整する。
請求項（抜粋）：
直流定電圧電源の出力電圧を、半導体試料と抵抗との直列接続回路に印加した状態で、光源から放射された光パルスを半導体試料面に照射し、該抵抗の端子間電圧波形を測定し、該波形の立ち下がり部分に基づいて該半導体試料のバルクライフタイムを測定する直流法によるバルクライフタイム測定装置において、該光源は連続波長光を放射し得るものであり、該光源と半導体試料面との間に、850〜1000nmのいずれかの波長以上の波長光成分をほとんど透過させる短波長カットフィルターまたは850〜1200nm範囲の波長光成分を透過させるバンドパスフィルターを配置したことを特徴とする直流法によるバルクライフタイム測定装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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