特許

J-GLOBAL ID：200903057879521049

粒度分布測定装置

発明者： 高原 寿雄 ,  岩崎 元明 ,  谷端 康弘
出願人/特許権者： 横河電機株式会社
代理人 (1件)： 小沢 信助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-097704
公開番号（公開出願番号）：特開平6-082359
出願日： 1991年04月26日
公開日（公表日）： 1994年03月22日
要約：

【要約】【目的】誤差要因となる測定媒体を必要とせず測定値の信頼性の高い絶対測定を行なえるような粒度分布測定装置を提供する。【構成】粒度分布測定装置において、微粒子をサンプリングして1個ずつ送り出すディスパ-サ-と、プラズマを発生させ前記デイスパ-サから供給される微粒子を該プラズマで解離して発光させ該発光信号を検出するアナライザと、分光器の出力を受けて信号処理する信号処理器と、CPUの司令で動作するコントロ-ラなどを設けたもの。

請求項（抜粋）：

微粒子をサンプリングして1個ずつ送り出すディスパ-サ-と、プラズマを発生させ前記デイスパ-サから供給される微粒子を該プラズマで解離して発光させ該発光信号を検出するアナライザと、該アナライザに冷却水を循環・供給する冷却水循環槽と、該アナライザの出力である検出光信号を伝送する光ファイバ-と、前記アナライザ内のマイクロ波発生器に駆動電圧を印加するマイクロ波電源と、分光器と、前記分光器の出力を受けて信号処理する信号処理器と、と、該信号処理器の出力が粒径の3乗に比例することから微粒子の粒径との相関を求めて粒度分布を得る波高分析器と、該波高分析器の出力を表示する表示器と、CPUと、該CPUの司令で動作するコントロ-ラとを具備してなる粒度分布測定装置。