特許
J-GLOBAL ID：200903057883578306
ワイヤソー
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-019569
公開番号（公開出願番号）：特開2000-218500
出願日： 1999年01月28日
公開日（公表日）： 2000年08月08日
要約：
【要約】【課題】自動で装置異常を判断することができるワイヤソーの提供。【解決手段】スラリ供給配管64に第2流量計66を設置するとともに、スラリ回収パイプ38に第3流量計68を設置し、その検出値の差を演算する。そして、その演算結果と予め設定された許容値とを比較し、許容値を越えていれば装置異常と判断する。
請求項（抜粋）：
所定ピッチで張架されたワイヤ列を走行させ、該ワイヤ列に加工液を循環供給しながらインゴットを押し当てることにより、該インゴットを複数枚のウェーハに切断するワイヤソーにおいて、前記加工液が流れる流路途中に所定距離離して設けられ、加工液の流量を検出する一対の流量検出手段と、前記一対の流量検出手段の検出値の差を演算する演算手段と、前記演算手段の演算結果と、あらかじめ設定された許容値とを比較して、許容値を越えると装置異常と判断する判断手段と、を備えたことを特徴とするワイヤソー。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B24B 27/06 D
, B24B 57/02
3C047FF15
, 3C047GG19
, 3C058AA05
, 3C058AB08
, 3C058AC02
, 3C058AC04
, 3C058BB02
, 3C058BB06
, 3C058BB08
, 3C058BB09
, 3C058BC03
, 3C058CA01
, 3C058CA04
, 3C058CA05
, 3C058CA06
, 3C058CB06
, 3C058DA03
