位置決め方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋敬四郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-255672
公開番号（公開出願番号）：特開2003-066096
出願日： 2001年08月27日
公開日（公表日）： 2003年03月05日
要約：

【要約】【課題】チップの検査を行う場合、チップ搬送工程と位置決め工程とは別個の工程であり、搬送後の主作業は位置補正工程の間待ち状態になっている。【解決手段】インデックステーブル搬送方式を用い、非接触ICタグ等の半導体チップの供給、検査部への搬送、検査工程、検査後のチップ排出を並列処理できるように、インデックステーブル上に凹状部および傾斜を備えた位置決めポケットを複数設け、たとえばインデックステーブル駆動パルスモータの停止位置近傍にてパルスモーターに断続的にパルスを付加することによりコギング現象を生じさせ、コギング現象により発生する微振動を利用した加振を行うことで、半導体チップを位置決めポケット内に落とし込み位置決めを行うようにした。

請求項（抜粋）：

パルスモータにより回転するインデックステーブル上に複数設けた位置決めポケットの1つに半導体チップを搭載し、インデックステーブルを検査位置まで回転させる工程と、前期インデックステーブル回転工程において、前記パルスモータに断続的にパルスを付加することにより振動を発生させ、半導体チップを位置決めポケット内に位置決めする工程とを含む位置決め方法。

IPC (3件)：

G01R 31/26 , B42D 15/10 521 , G06K 19/00

FI (4件)：

G01R 31/26 Z , G01R 31/26 J , B42D 15/10 521 , G06K 19/00 Z

Fターム (13件)：

2C005MB10 , 2C005TA22 , 2G003AA00 , 2G003AD09 , 2G003AF05 , 2G003AF06 , 2G003AG10 , 2G003AG11 , 2G003AG16 , 2G003AH00 , 2G003AH04 , 5B035BB09 , 5B035BC08

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