特許
J-GLOBAL ID：200903057898140510
加工装置の被加工物支持台
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 守 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-242677
公開番号（公開出願番号）：特開平8-108291
出願日： 1994年10月06日
公開日（公表日）： 1996年04月30日
要約：
【要約】【目的】 被加工物とこの被加工物を支持する部材との接地面を最小にする構成において、二次反射光による影響を最小限にするための構造を備えた加工装置の被加工物支持台を提供する。【構成】 被加工物支持手段は、(イ)加工媒体発生手段からの加工媒体と垂直に交わる面に対して傾斜させるように設置して上記被加工物を支持し、上記被加工物を貫通した加工媒体を反射させる第1の支持板と、(ロ)上記第1の支持板に対して所定の間隔で設けられて、上記第1の支持板で反射された加工媒体を反射する第2の支持板とを備え、上記第1の支持板と上記第2の支持板とで上記加工媒体を交互に反射させて加工媒体のエネルギーを減衰させるものである。
請求項（抜粋）：
被加工物を加工するための加工媒体を出力する加工媒体発生手段と、上記被加工物を加工テーブル上に支持する被加工物支持手段と、からなる加工装置の被加工物支持台において、上記被加工物支持手段は、(イ)上記加工媒体発生手段からの加工媒体の直行方向軸と垂直に交わる面に対して傾斜させるように設置して上記被加工物を支持し、上記被加工物を貫通した加工媒体を反射する第1の支持板と、(ロ)上記第1の支持板に対して所定の間隔で設けられて、上記第1の支持板で反射された加工媒体を反射する第2の支持板とを備えたことを特徴とする加工装置の被加工物支持台。
IPC (2件)：
引用特許：
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