特許
J-GLOBAL ID：200903057899737455
炉内雰囲気循環型ローラハース式連続焼成炉
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-120437
公開番号（公開出願番号）：特開平11-311484
出願日： 1998年04月30日
公開日（公表日）： 1999年11月09日
要約：
【要約】【課題】 省スペース及び省エネルギー化が図れ、対流加熱により基板ガラスの隔壁等について均一な焼成処理ができるローラハース式連続焼成炉を提供する。【解決手段】 本発明の炉内雰囲気循環型ローラハース式連続焼成炉10は、炉内天井部12に循環ファン22を設けるとともに炉内にバッフル26を設け、前記循環ファン22の駆動により炉内雰囲気が循環する循環経路40を前記バッフルの周囲に形成し、少なくとも加熱帯及び焼成帯の前記バッフル26内の上部に耐熱フィルタ36を設けるとともに炉内壁13を内板構造とし、ローラハース28により搬送されるトレイ32上に基板ガラスPをその進行方向に対してほぼ垂直に保持し、前記循環ファン22により炉内雰囲気を前記耐熱フィルタ36を介して前記バッフル26内を搬送される前記基板ガラスPに吹き付ける。
請求項（抜粋）：
炉内天井部に循環ファンを設けるとともに炉内にバッフルを設け、前記循環ファンの駆動により炉内雰囲気が循環する循環経路を前記バッフルの周囲に形成し、少なくとも加熱帯及び焼成帯の前記バッフル内の上部に耐熱フィルタを設けるとともに炉内壁を内板構造とし、ハースローラにより搬送されるトレイ上に基板ガラスをその進行方向に対してほぼ垂直に保持し、前記循環ファンにより炉内雰囲気を前記耐熱フィルタを介して前記基板ガラスに吹き付けるようにしたことを特徴とする炉内雰囲気循環型ローラハース式連続焼成炉。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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