特許
J-GLOBAL ID：200903057912136385
荷電粒子の遮断装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-026455
公開番号（公開出願番号）：特開平6-244141
出願日： 1993年02月16日
公開日（公表日）： 1994年09月02日
要約：
【要約】【目的】プラズマ3中から中性粒子のみを試料7に供給したい場合の荷電粒子遮断装置において、従来の装置構成で問題となっていた電極間の間隙からもれ込むプラズマ3を低減する。【構成】従来装置の構成でメッシュを保持する平板部分を少なくとも一回屈曲させ、電極間の間隙が屈曲する構成とした。【効果】電極間の間隙を屈曲させることで、間隙を通過する荷電粒子の平板部での衝突確率を飛躍的に増大させ、結果として間隙を通過する荷電粒子の量を低減する。
請求項（抜粋）：
気体のプラズマ状態から正および負の電荷を帯びた荷電粒子のみを遮断し、中性粒子を透過させる装置において、導電性メッシュの周辺を導電性平板で保持した構造の電極を少なくとも三枚用い、その内の1枚が接地電極、他の2枚が前記接地電極の電位に対し負電位の電極と正電位の電極であり、三枚以上の前記各電極間の大部分は空間的間隙により絶縁され、かつ、各電極は平行に配置されており、導電性メッシュを保持する前記導電性平板間の間隙が他方から見通せない構造である事を特徴とする荷電粒子の遮断装置。
IPC (3件)：
H01L 21/302
, C23F 4/00
, H01L 21/31
