特許

J-GLOBAL ID：200903057914140169

有機発光素子の製造方法及び成膜装置

発明者： 木村 俊秀 ,  識名 紀之
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 近島 一夫 ,  阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-127831
公開番号（公開出願番号）：特開2009-277510
出願日： 2008年05月15日
公開日（公表日）： 2009年11月26日
要約：

【課題】有機発光素子の発光層を成膜する工程において、基板とマスクを密着させるためのマグネットの磁力による影響が発光層に及ぶのを防ぐ。【解決手段】基板20に対して、複数のパターニング開口領域31とフレーム領域32から構成されたマスク30をマグネット10を用いて密着させて、有機発光素子の発光層を蒸着する。マグネット10は、基板20の裏面側において、マスク30のフレーム領域32のみを吸着する。マスク30のパターニング開口領域31にはマスク10の磁力が作用しないため、磁力によって発光層に発光ムラが発生するのを防ぐことができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

複数のパターニング開口領域とフレーム領域から構成されたマスクをマグネットによって基板に密着させて、有機発光素子の発光機能層を蒸着する工程を有し、 前記マグネットは、前記基板の裏面側において前記マスクの前記フレーム領域に沿って配置され、前記フレーム領域を磁力によって吸着し、前記パターニング開口領域を吸着しないことを特徴とする有機発光素子の製造方法。

IPC (3件)：

H05B 33/10 ,  H01L 51/50 ,  C23C 14/24

FI (3件)：

H05B33/10 ,  H05B33/14 A ,  C23C14/24 G

Fターム (14件)：

3K107AA01 ,  3K107CC33 ,  3K107CC45 ,  3K107GG04 ,  3K107GG31 ,  3K107GG33 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA62 ,  4K029BB03 ,  4K029CA01 ,  4K029DB06 ,  4K029DB18 ,  4K029HA04

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 蒸着用治具及び蒸着方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-304490   出願人：ソニー株式会社