特許
J-GLOBAL ID:200903057917321245

異物検査方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 志賀 正武
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-079894
公開番号(公開出願番号):特開平6-288936
出願日: 1993年04月06日
公開日(公表日): 1994年10月18日
要約:
【要約】【目的】 異物やボイドの種類を判定する際に用いるデータベースの構築を容易に行う。【構成】 試料から得た第1画像を走査して母材より暗い部分,明るい部分を認識し、母材以外の座標を記憶する。試料から得た第2画像を走査して母材の色範囲を指定し母材以外の座標を記憶する。第1,第2画像の座標を重ね、これらによって指定される画素を異物,ボイドの座標と認識する。異物,ボイドとして認識された画素の内、同一の異物,ボイドとして判断される集団毎に、色相,彩度,明度の平均および分布を計算する。次に、各異物,ボイド毎に予め計算した色相,彩度,明度の平均および分布と、上記集団毎に計算された色相,彩度,明度の平均および分布とのマハラノビスの汎距離をそれぞれ算出し、最もマハラノビスの汎距離が短い集団をもって、各集団の異物の種類を決定する。
請求項(抜粋):
薄くスライスされた透明または半透明の樹脂からなる試料中に含まれている異物あるいはボイドの影が最も際立つように透過光を照射しつつ、前記試料を撮影し、この撮影によって得られた第1の画像データを記憶し、前記第1の画像データの画面全体に亙って走査して前記試料の母材の標準的な明るさの範囲の下限よりも暗い部分と、前記試料の母材の標準的な明るさの範囲の上限よりも明るい部分とを認識することにより、前記試料の母材と認識されない部分の前記画面上の、統計学的なサンプルが抽出でき得る数に区分けされた画素の座標を抽出し、前記試料中に含まれている異物あるいはボイドの色が最も際立つように落射光を照射しつつ、前記試料をカラー撮影し、この撮影によって得られた第2の画像データを赤データ,緑データ,青データ、あるいは色相データ,彩度データ,明度データに分離して記憶し、前記赤データ,緑データ,青データ、あるいは前記色相データ,彩度データ,明度データのすべてを前記第2の画像データの画面全体に亙って走査して前記試料の母材の色範囲を指定して認識する、あるいは前記試料の母材の色相、彩度および明度のそれぞれの範囲を指定して認識することにより、前記試料の母材と認識されない部分の前記画面上の、統計学的なサンプルが抽出でき得る数に区分けされた画素の座標を抽出し、前記第1の画像データに基づいて得られた座標と前記第2の画像データに基づいて得られた座標とを重ね合わせ、少なくともその一方によって指定される画素の座標を前記異物あるいはボイドの座標と認識し、前記異物あるいはボイドとして認識された前記画素の内、同一の異物あるいはボイドとして判断される集団毎に、赤データ,緑データ,青データ、あるいは色相データ,彩度データ,明度データのそれぞれの平均並びにこれら赤データ,緑データ,青データ、あるいは色相データ,彩度データ,明度データの3つの要素の分布を計算し、各異物およびボイド毎にあらかじめ計算した赤データ,緑データ,青データ、あるいは色相データ,彩度データ,明度データのそれぞれの平均並びにこれら赤データ,緑データ,青データ、あるいは色相データ,彩度データ,明度データの3つの要素の分布と、前記集団毎に計算された前記赤データ,緑データ,青データ、あるいは前記色相データ,彩度データ,明度データのそれぞれの平均および前記分布とに基づいて、各集団の異物の種類を決定することを特徴とする異物検査方法。
IPC (2件):
G01N 21/89 ,  G06F 15/62 380

前のページに戻る