特許

J-GLOBAL ID：200903057918656615

位置検出装置および位置検出方法

発明者： 小松 宏一郎
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-333984
公開番号（公開出願番号）：特開平9-152309
出願日： 1995年11月29日
公開日（公表日）： 1997年06月10日
要約：

【要約】【課題】 他の方式の位置合わせ機構による位置検出用マークの粗位置合わせを行うことなく、高精度な位置検出が可能な位置検出装置および方法。【解決手段】 第1領域と第2領域との長さの比が変化するように第1領域と第2領域とが所定のピッチで交互に配列された回折格子マークを有する被検物体に対して可干渉な光束を照射するための照射光学系と、可干渉な光束により回折格子マーク上に形成される干渉縞と回折格子マークとを相対的に走査するための走査手段と、可干渉な光束の照射により回折格子マークから発生する回折光を検出信号に光電変換するための光電検出器と、回折格子マークの構造によって変調される回折光の強度が所定の状態となるときの検出信号の出力に基づいて回折格子マークの位置を検出するための検出手段とを備えている。

請求項（抜粋）：

所定の方向に沿った第1領域と第2領域との長さの比が変化するように、前記所定方向に沿って第1領域と第2領域とが所定のピッチで交互に配列された回折格子マークを有する被検物体に対して可干渉な光束を照射するための照射光学系と、前記可干渉な光束により前記回折格子マーク上に形成される干渉縞と前記回折格子マークとを相対的に走査するための走査手段と、前記可干渉な光束の照射により前記回折格子マークから発生する回折光を検出信号に光電変換するための光電検出器と、前記所定の方向に沿った第1領域と第2領域との長さの比が変化する前記回折格子マークの構造によって変調される前記回折光の強度が所定の状態となるときの前記検出信号の出力に基づいて、前記回折格子マークの位置を検出するための検出手段とを備えていることを特徴とする位置検出装置。

IPC (2件)：

G01B 11/00 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G01B 11/00 G ,  H01L 21/30 502 M ,  H01L 21/30 522 D ,  H01L 21/30 525 H

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平1-285803
  
• 特開平1-285803
  
• 特開平1-285803
  
• 特開平1-285803