特許
J-GLOBAL ID：200903057920506361
プローブ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
菅野 中
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-076771
公開番号（公開出願番号）：特開平8-271547
出願日： 1995年03月31日
公開日（公表日）： 1996年10月18日
要約：
【要約】【目的】 プローブ装置のコンタクトプローブ間の間隔に自由度を持たせる。【構成】 使用するコンタクトプローブ7aは、ピン先端部7bを除いて絶縁コート層7cで被覆し、相互間を絶縁コート層7cで絶縁して束ねてプローブユニット7を構成する。このためコンタクトプローブの間隔に自由度が得られる。
請求項（抜粋）：
プローブユニットと、圧下部とを有するプローブ装置であって、プローブユニットは、複数のコンタクトプローブからなるものであり、前記コンタクトプローブは、検査端子に接触させるピンの先端部を除いて絶縁コート層で被覆したものであり、前記複数のコンタクトプローブは、ピン先端部を同一高さに揃え、かつ相互間を前記絶縁コート層により絶縁して束ねられたものであり、圧下部は、前記プローブユニットを圧下して各コンタクトプローブのピン先端部を検査端子に接触させるものであることを特徴とするプローブ装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 1/073 C
, G01R 1/067 H
