特許

J-GLOBAL ID：200903057920759359

多自由度小型平面モータ

発明者： アンドリュー・ジェイ・ヘイゼルトン
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外5名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-565598
公開番号（公開出願番号）：特表2002-524009
出願日： 1999年08月16日
公開日（公表日）： 2002年07月30日
要約：

【要約】【課題】 六つの自由度で、高速および高精度で、移動ステージに取り付けられている厄介なホースやケーブルを持たない、小型で、エネルギー効率が高い、広い運動範囲を供給する。【解決手段】 周期的に極性が交互に変化する磁界を発生するほぼ平らな複数の磁極と、磁界と協働し、それぞれがコイル・ユニットを含む複数の個々のコイルを備えるほぼ平らなコイル・アレイと、コイル・アレイに電流を供給する整流回路とを備える。コイル・アレイが第一のコイルを含む第一の組のコイルと、第二のコイルを含む第二の組のコイルとを含み、第一の組のコイルおよび第二の組のコイルは、磁界と協働し電流に応じて第一の主方向に第一の電磁力を発生し、第二の主方向に第二の電磁力を発生させる。各コイル・ユニットは、ほぼ平らな幾何学的多角形を持つ閉バンドを形成する電気導体を含み、閉バンドが空間を囲む内縁部を有する。

請求項（抜粋）：

周期的に極性が交互に変化する磁界を発生するほぼ平らな複数の磁極と、 前記磁界と協働し、それぞれがコイル・ユニットを含む複数の個々のコイルを備えるほぼ平らなコイル・アレイと、 前記コイル・アレイに電流を供給するように構成されている整流回路とを備え、 前記コイル・アレイは、第一のコイルを含む第一の組のコイルと、第二のコイルを含む第二の組のコイルとを含み、 前記第一の組のコイルおよび前記第二の組のコイルは、前記磁界と協働し前記電流に応じて第一の主方向に第一の電磁力を発生し、また第二の主方向に第二の電磁力を発生させるようにそれぞれ構成され、 前記各コイル・ユニットは、ほぼ平らな幾何学的多角形を持つ閉バンドを形成する電気導体を含み、前記閉バンドが空間を囲む内縁部を有する装置。

IPC (7件)：

H02K 41/03 ,  B60L 13/10 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68 ,  H02K 41/02 ,  H02K 3/04

FI (8件)：

H02K 41/03 A ,  B60L 13/10 N ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/68 K ,  H02K 41/02 A ,  H02K 41/02 C ,  H02K 3/04 D ,  H01L 21/30 503 A

Fターム (63件)：

5F031CA02 ,  5F031HA55 ,  5F031KA05 ,  5F031LA08 ,  5F031MA27 ,  5F046CC17 ,  5H113AA01 ,  5H113CC04 ,  5H113CC07 ,  5H113CC08 ,  5H113CC10 ,  5H113CD02 ,  5H113CD06 ,  5H113CD08 ,  5H113CD12 ,  5H113CD16 ,  5H113CD18 ,  5H113DA02 ,  5H113DA06 ,  5H113DB03 ,  5H113DB04 ,  5H113DB13 ,  5H113DB15 ,  5H603AA01 ,  5H603AA09 ,  5H603BB01 ,  5H603BB10 ,  5H603BB15 ,  5H603CA01 ,  5H603CA02 ,  5H603CA05 ,  5H603CB01 ,  5H603CC14 ,  5H603CC19 ,  5H603CD25 ,  5H603CE06 ,  5H603CE13 ,  5H603FA25 ,  5H641BB06 ,  5H641BB15 ,  5H641BB16 ,  5H641BB17 ,  5H641BB18 ,  5H641BB19 ,  5H641GG02 ,  5H641GG03 ,  5H641GG07 ,  5H641GG11 ,  5H641GG12 ,  5H641GG15 ,  5H641GG19 ,  5H641GG20 ,  5H641GG24 ,  5H641HH02 ,  5H641HH03 ,  5H641HH05 ,  5H641HH06 ,  5H641HH16 ,  5H641HH20 ,  5H641JA03 ,  5H641JA06 ,  5H641JA07 ,  5H641JB09