特許

J-GLOBAL ID：200903057932182308

インゴット切断装置

発明者： 岩佐 健司 ,  小中 敏典 ,  伊藤 隆志 ,  木南 治行
出願人/特許権者： エム・セテック株式会社
代理人 (1件)： 森 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-124519
公開番号（公開出願番号）：特開平7-304030
出願日： 1994年05月13日
公開日（公表日）： 1995年11月21日
要約：

【要約】【目的】 本発明の目的は、?@インゴットから切り出されたウェハーの表裏両面の平行度を高める事、?A表面のうねりや反り、凹凸を出来る限り小さくする事、?Bその結果としてウェハーの加工度を最小にして加工手間を出来るだけ短くし、且つ切り出しに必要なウェハーの厚みを最小にしてウェハーの切り出し枚数を増加させることにある。【構成】 ?@水平に配設されたインゴット(1)の外周面に接してインゴット(1)を回転させる回転ローラ(4)(5)と、?Aインゴット(1)の外周に接してインゴット(1)を外周からインゴット(1)の中心軸(0)に向かって切断していく切断刃(12)とで構成された事を特徴とする。

請求項（抜粋）：

水平に配設されたインゴットの外周面に接してインゴットを回転させる回転ローラと、インゴットの外周に接してインゴットを外周から中心に向かって切断していく切断刃とで構成された事を特徴とするインゴット切断装置。

IPC (5件)：

B28D 5/04 ,  B24B 27/06 ,  B24B 41/06 ,  B28D 7/04 ,  H01L 21/304 311