特許
J-GLOBAL ID:200903057933383382

接触センサー

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-051665
公開番号(公開出願番号):特開平8-210805
出願日: 1995年02月03日
公開日(公表日): 1996年08月20日
要約:
【要約】【目的】 本発明は対象物に接触する接触子を有する接触センサーに於いて、接触子そのものを振動させることにより高精度、高信頼性、高経済性を実現することを目的としている。【構成】 本発明は、三次元測定器等に装着され被測定物との接触を電気的に検出する接触センサーに関し、従来の接触センサーのように接触子が外力を受けて変位することを検出する受動的検出方法ではなく、積極的に接触子を振動させることを特徴としている。機構的には接触子に振動を与える駆動装置とその振動を交流信号として電気的に検出する検出装置とからなる。振動を与える駆動装置としてはソレノイドやモーター、圧電素子など、振動を検出する装置としては、マイクロホン、圧電素子、差動変圧器などが考えられる。
請求項(抜粋):
対象物に接触する接触子を有する構造の接触センサーに於いて、接触子が自ら振動する構造を持つ接触センサー。
IPC (2件):
G01B 7/00 ,  H01L 41/08

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