特許

J-GLOBAL ID：200903057935928785

薄膜磁気ヘッドスライダ及び静電アクチュエータ

発明者： 越川 誉生 ,  前多 宏志 ,  今村 孝浩
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 石田 敬 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-236910
公開番号（公開出願番号）：特開平9-081924
出願日： 1995年09月14日
公開日（公表日）： 1997年03月28日
要約：

【要約】【課題】 記録媒体に対して浮上又は接触する浮上面に有し、浮上面と平行にヘッド素子の薄膜成膜面が形成されている薄膜磁気ヘッドスライダにおいて、ヘッド素子の微小な位置決めを行うことで高密度化の可能なスライダを得ることを目的とする。【解決手段】 基板の表面、又は基板上に設けた犠牲層の表面に、スライダ膜体を形成し、基板、又は基板及び犠牲層を、スライダ膜体から分離してなる薄膜磁気ヘッドスライダにおいて、スライダ膜体の一部を、記録媒体の移動方向に関し直角なトラッキング方向に可動となるようにスライダ膜体の固定部に支持し、この可動部に、記録媒体に対向するヘッド素子の対向磁極を設けた。或いは、スライダ膜体の一部を、記録媒体に対して接近・隔離するロード・アンロード方向に可動となるようにする。

請求項（抜粋）：

基板の表面、又は該基板上に設けた犠牲層の表面に、スライダ膜体を形成し、前記基板、又は基板及び犠牲層を、前記スライダ膜体から分離してなる薄膜磁気ヘッドスライダにおいて、スライダ膜体の一部を、記録媒体の移動方向に関し略直角なトラッキング方向に可動となるようにスライダ膜体の固定部に支持したトラッキング機構を具備し、該トラッキング機構の可動部に、少なくとも記録媒体に対向する薄膜磁気ヘッド素子の対向磁極を設けたことを特徴とする薄膜磁気ヘッドスライダ。

IPC (3件)：

G11B 5/60 ,  G11B 5/31 ,  G11B 21/21

FI (3件)：

G11B 5/60 Z ,  G11B 5/31 Z ,  G11B 21/21 E