洗浄処理装置および洗浄処理方法

発明者：
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-033558
公開番号（公開出願番号）：特開平8-236491
出願日： 1995年02月22日
公開日（公表日）： 1996年09月13日
要約：

【要約】【目的】洗浄処理スケジュールに対して精度良く洗浄処理を行うことができる洗浄処理装置および洗浄処理方法を提供することを目的とする。【構成】複数の洗浄処理ユニット21〜29を有する洗浄処理部2 と、洗浄処理部へ搬入すべき被処理体を待機させるローダ3 と、ローダ3 と洗浄処理部2 との間、および各洗浄処理ユニット間で被処理体を搬送する搬送機構11,12,13とを備えた洗浄処理装置で洗浄処理を行う。この際に、予め設定された洗浄スケジュールに従って各洗浄処理ユニットおよび搬送機構を制御し、次に洗浄されるべき被処理体の洗浄スケジュールにおける各洗浄処理ユニットおよび搬送機構のうちいずれかの処理時間帯が、洗浄処理が行われている被処理体の各洗浄処理ユニットおよび搬送機構のうち対応するものの処理時間帯と重なっているか否かを把握し、これらの重なりがないことを確認した時点で洗浄処理部へ被処理体を投入する。

請求項（抜粋）：

被処理体に対して所定の洗浄処理を行う複数の洗浄処理ユニットを有する洗浄処理部と、洗浄処理部へ搬入すべき被処理体を待機させる搬入部と、前記搬入部と前記洗浄処理部との間、および各洗浄処理ユニット間で前記被処理体を搬送する搬送機構と、予め設定された洗浄スケジュールに従って前記各洗浄処理ユニットおよび前記搬送機構を制御する制御手段と、次に洗浄されるべき被処理体の洗浄スケジュールにおける前記各洗浄処理ユニットおよび前記搬送機構のうちいずれかの処理時間帯が、洗浄処理が行われている被処理体の前記各洗浄処理ユニットおよび前記搬送機構のうち対応するものの処理時間帯と重なっているか否かを把握し、これらの少なくとも一部が重なる際には次に洗浄されるべき被処理体の洗浄処理部への投入を禁止し、これらの重なりがないことを確認した時点で洗浄処理部への被処理体の投入を許可する投入タイミング制御手段と、を具備することを特徴とする洗浄装置。

IPC (5件)：

H01L 21/304 341 , H01L 21/304 , B08B 3/04 , H01L 21/02 , H01L 21/68

FI (6件)：

H01L 21/304 341 C , H01L 21/304 341 M , H01L 21/304 341 S , B08B 3/04 B , H01L 21/02 Z , H01L 21/68 A

引用特許：

審査官引用 (5件)

基板処理装置の基板搬送制御装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-004942 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
特開昭62-008527
特開昭63-015420

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