特許
J-GLOBAL ID：200903057937593527
音叉振動子、音叉振動子を備えた角速度センサ及び角速度センサの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
有我 軍一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-057208
公開番号（公開出願番号）：特開2002-257549
出願日： 2001年03月01日
公開日（公表日）： 2002年09月11日
要約：
【要約】【課題】 従来と比較して角速度の検出精度の高い音叉振動子、角速度センサ及び角速度センサの製造方法を提供すること。【解決手段】 突起状の固定部22a、22bが形成された基台22と、基台22から立設されて対向配置される励振軸23及び検出軸24とを有し、圧電素子から構成される音叉振動子21において、励振軸23が励振電極25a、25dと励振電極25b、25cとで互いに逆方向の分極方向になるように面垂直分極され、検出軸24が、両端の検出電極26a、26fと検出電極26c、26dとで互いに逆方向の分極方向になるように面垂直分極されるとともに、中央の検出電極26b、26eで両端の検出電極26a、26f、26c、26dとの間で零電位となるように面内分極され、励振電極25b、25cと検出電極26c、26dとの分極方向が同一であるようにする。
請求項（抜粋）：
突起状の固定部が形成された基台と、前記基台から立設されて対向配置される第1励振軸及び第1検出軸とを有し、圧電素子から構成されるとともに、前記第1励振軸及び前記第1検出軸が近接離隔する面内方向に励振し、励振した状態で、前記第1励振軸と第1検出軸とに平行で、これら2つの軸に対向中心軸を回転軸とした角速度が印加された時に発生するコリオリ力を面垂直方向の撓みとして検出する音叉振動子において、前記第1励振軸が、表裏面に前記基台に導出され互いに対向する励振電極を2組設け、前記2組の励振電極で互いに逆方向の分極方向になるように面垂直分極され、前記第1検出軸が、表裏面に前記基台に導出され互いに対向する検出電極を3組設け、前記3組の検出電極のうち両端の検出電極で互いに逆方向の分極方向になるように面垂直分極されるとともに、前記3組の検出電極のうち中央の検出電極で前記両端の検出電極との間で零電位となるように面内分極され、前記2組の励振電極のうち前記第1検出軸側の1組の励振電極と、前記3組の検出電極のうち前記第1励振軸側の1組の検出電極との分極方向が同一であることを特徴とする音叉振動子。
IPC (5件)：
G01C 19/56
, G01P 9/04
, H01L 41/09
, H01L 41/08
, H01L 41/22
G01C 19/56
, G01P 9/04
, H01L 41/08 U
, H01L 41/08 Z
, H01L 41/22 Z
2F105AA01
, 2F105BB02
, 2F105BB11
, 2F105CC01
, 2F105CD13
