特許

J-GLOBAL ID：200903057939430935

合成融解石英組成物

発明者： スタンレー・エム・アントザーク ,  モハン・ラジャラム
出願人/特許権者： ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ
代理人 (1件)： 生沼 徳二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-110105
公開番号（公開出願番号）：特開平7-081971
出願日： 1994年05月25日
公開日（公表日）： 1995年03月28日
要約：

【要約】【目的】 半導体用途に適した合成融解石英組成物を提供する。【構成】 合成融解石英組成物は、シリカとアルミニウムを含み、一般に少なくとも7ppmのアルミニウムを含有しかつ少なくとも1014.5ポアズの粘度を有することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

合成シリカとアルミニウムとを含みかつ1100°Cで少なくとも1014.5ポアズの粘度を有することを特徴とする合成融解石英組成物。

IPC (3件)：

C03C 3/06 ,  C03B 20/00 ,  H01L 21/22 501