特許

J-GLOBAL ID：200903057948457447

ワーク吸着パッド

発明者： 木村 秀明
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立米沢電子株式会社
代理人 (1件)： 筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-170790
公開番号（公開出願番号）：特開平9-019882
出願日： 1995年07月06日
公開日（公表日）： 1997年01月21日
要約：

【要約】【目的】 ワークを横ずれなく吸着できるワーク吸着パッドを提供する。【構成】 ワークの表面を真空吸着する吸着口4が形成されたパッド本体2と、吸着口4の中央部においてこの吸着口4の吸着面Sよりも突出して設けられ、該吸着面Sより内方に変位可能に設けられたワーク固定リブ6とを有するワーク吸着パッド1である。ワーク固定リブ6は、パッド本体2から延びて形成された支持アーム5に支持されている。

請求項（抜粋）：

ワークの表面を真空吸着する吸着口が形成されたパッド本体と、前記吸着口の中央部においてこの吸着口の吸着面よりも突出して設けられ、該吸着面より内方に変位可能に設けられたワーク固定リブと、前記パッド本体から延びて形成され、前記ワーク固定リブを支持する支持アームとを有することを特徴とするワーク吸着パッド。

IPC (3件)：

B25J 15/06 ,  G01R 31/26 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

B25J 15/06 D ,  G01R 31/26 Z ,  H01L 21/68 B