特許

J-GLOBAL ID：200903057948948580

ポジ型感光性樹脂組成物

発明者： 真壁 裕明 ,  番場 敏夫 ,  平野 孝
出願人/特許権者： 住友ベークライト株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-085194
公開番号（公開出願番号）：特開2000-275833
出願日： 1999年03月29日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】 高解像度で高残膜率のパターンを得ることができ、かつ高感度であるポジ型感光性樹脂を提供する。【解決手段】 ポリアミド(A)100重量部と、一般式(2)で示される構造を骨格に有するフェノール化合物の、1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-5-スルホン酸エステル化合物又は1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-4-スルホン酸エステル化合物である感光材(B)1〜50重量部と、フェノール化合物(C)1〜30重量部とからなるポジ型感光性樹脂組成物である。(式中、R5、R6は水素原子またはアルキル基を表し、R7、R8はそれぞれ同じでも異なっても良く、少なくとも1つの水酸基を有するアルキル基、アルコキシ基、アリール基、シクロアルキル基の内から選ばれた1つを示す。C=1〜3の整数である。

請求項（抜粋）：

一般式(1)で示されるポリアミド(A)100重量部と、一般式(2)で示される構造を骨格に有するフェノール化合物の、1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-5-スルホン酸エステル化合物又は1,2-ナフトキノン-2-ジアジド-4-スルホン酸エステル化合物である感光材(B)1〜50重量部と、一般式(3)で表されるフェノール化合物(C)1〜30重量部とからなることを特徴とするポジ型感光性樹脂組成物。【化1】【化2】【化3】

IPC (8件)：

G03F 7/037 501 ,  C08K 5/13 ,  C08K 5/42 ,  C08L 77/00 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/022 601 ,  G03F 7/075 511 ,  H01L 21/027

FI (8件)：

G03F 7/037 501 ,  C08K 5/13 ,  C08K 5/42 ,  C08L 77/00 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/022 601 ,  G03F 7/075 511 ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (26件)：

2H025AA00 ,  2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA04 ,  2H025AA10 ,  2H025AA13 ,  2H025AA20 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB26 ,  2H025CB33 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45 ,  2H025CC20 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  4J002CL001 ,  4J002CL071 ,  4J002CM021 ,  4J002EJ037 ,  4J002EV216 ,  4J002FD206 ,  4J002GP03 ,  4J002HA05