特許
J-GLOBAL ID：200903057956649878
プローブ装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
亀谷 美明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-085661
公開番号（公開出願番号）：特開平6-273445
出願日： 1993年03月18日
公開日（公表日）： 1994年09月30日
要約：
【要約】【目的】 プローブカードを補強しその応力歪みを回避すると共に、記憶素子を配置可能なプローブカード保持具を提供する。【構成】 本発明に基づいて構成されたプローブカード保持具30は、プローブカード10のパットエリア(C)に対応する裏面周辺部においてプローブカード10を上方に支承する第1の部分と、プローブ針12を案内するガイド部13の周囲においてプローブカード10を上方に支承する第2の部分とを備えているので、ポゴピンリング50によりプローブカード10に加わる押圧力を吸収し、プローブカード10の応力歪みを減少し、プローブ針先端部12Bの平行度および圧力を均一に保持して、精密な検査を実施可能である。また、プローブカード10上に物理的スペースがない場合であっても、上記第1の部分の周囲の第3の部分に記憶素子を組み込むことが可能である。
請求項（抜粋）：
被検査対象に電気的に接触してその電気的特性を測定するためのプローブカード手段をプローブ装置内の前記被検査対象に対向する測定位置に保持固定するためのプローブカード保持具を備えたプローブ装置において、上記プローブカード保持具に、前記プローブカードを用いて前記被検査対象を測定するための情報を記憶するための記憶手段と、その記憶手段の情報の読み出し書き込み経路と前記記憶手段とを接続するための接続手段とを組み込んだことを特徴とするプローブ装置。
IPC (3件)：
G01R 1/073
, G01R 31/26
, H01L 21/66
