特許
J-GLOBAL ID：200903057961132980
圧電型運動センサにおけるセンサ振動体の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-037218
公開番号（公開出願番号）：特開2001-194158
出願日： 2000年01月12日
公開日（公表日）： 2001年07月19日
要約：
【要約】【課題】 圧電セラミックスのような圧電材料を用いて運動を検出する圧電型運動センサにおけるセンサ振動体の加工において、単純あるいは複雑な輪郭形状の圧電セラミックスの加工や、センサ振動体表面に形成された複雑な形状をした電極膜のパターンや、センサ振動体の側面への電極形成等を精度良く、容易にかつ安価に製造できる製造方法を得る。【解決手段】 輪郭形状形成、及び所望の形状の電極膜のパターン形成をレーザー加工によって行う。また、電極膜の精密なパターン形成とセンサ振動体の輪郭形状加工を順次または同時に行う。
請求項（抜粋）：
圧電材料を用いて形成したセンサ振動体の製造方法において、該センサ振動体の輪郭形状形成をレーザー加工によって行うことを特徴とする圧電型運動センサにおけるセンサ振動体の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (7件)：
2F105AA10
, 2F105BB01
, 2F105BB13
, 2F105BB15
, 2F105CC01
, 2F105CD02
, 2F105CD06
