特許

J-GLOBAL ID：200903057965244252

一方向電気伝導性ケイ素系プラズマ重合膜及びその製造方法

発明者： 永井 秀明 ,  奥谷 猛 ,  中田 善徳 ,  鈴木 正昭
出願人/特許権者： 工業技術院長
代理人 (1件)： 須藤 政彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-305756
公開番号（公開出願番号）：特開平8-143677
出願日： 1994年11月16日
公開日（公表日）： 1996年06月04日
要約：

【要約】【目的】 一方向電気伝導性ケイ素系プラズマ重合膜及びその製造方法を提供する。【構成】 組織が基板に対し一定方向に成長した構造を有するケイ素及びベンゼン環を含む有機化合物からなるプラズマ重合膜。組織が基板に対し一定方向に成長した構造を有するケイ素及びベンゼン環を含む有機化合物からなるプラズマ重合膜の製造方法であって、該プラズマ重合膜のプラズマ発生条件が50W以下であるプラズマ重合膜の製造方法。【効果】 一方向にのみ電気伝導性を持つケイ素系プラズマ重合膜を製造することができる。本発明の一方向電気伝導性ケイ素系プラズマ重合膜は、ドーピングを行わない場合、半導体領域の電導性を示す。この場合、重合膜の電導性を持つ方向に複数の電極を接続することにより、1枚のプラズマ重合膜から複数の半導体素子が得られる。また、高電気電導性をプラズマ重合膜に付与したい場合、ドーピングすることにより容易に達成でき、この場合も、1枚のプラズマ重合膜に複数の電極を設置することにより、複数の回路をつくることができる。

請求項（抜粋）：

組織が基板に対し一定方向に成長した構造を有するケイ素及びベンゼン環を含む有機化合物からなることを特徴とするプラズマ重合膜。

IPC (2件)：

C08G 77/60 NUM ,  C23C 14/12

引用特許：

審査官引用 (2件)

• ポリシラン及びその合成方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-253464   出願人：株式会社日立製作所
• 特開昭57-117531