特許
J-GLOBAL ID：200903057969144597
プラズマ質量分析装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 幸彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-241903
公開番号（公開出願番号）：特開平5-082078
出願日： 1991年09月20日
公開日（公表日）： 1993年04月02日
要約：
【要約】【目的】質量分析装置のイオン検出器を測定中及び試料濃度の使用者の誤りから保護することで検出器の寿命を伸ばし信頼性の高い質量分析計を提供する。【構成】図1において、CPU14は走査開始、及び、終了をタイミングコントローラ15にしらせ、タイミングコントローラ15はフリップフロップ22をセット及び、リセットして、アナログスィッチ24,27をオン/オフ制御し、検出器電源25と偏向電極電源の電圧値を制御すること、イオン検出器9の受ける過イオン量を積分器16で基準電圧値19と比較し、上記と同じように検出器電源25と偏向電源の電圧値を制御する。
請求項（抜粋）：
イオンを発生しそのイオンを複数の電極で収束し、その導かれたイオンを質量分析部で質量分析し、その質量分析されたイオンをイオン検出するプラズマ質量分析装置において、イオン検出器に供給する検出器電圧を測定走査中のみ供給し、それ以外は自動遮断する機能を設けたことを特徴とするプラズマ質量分析装置。
IPC (3件)：
H01J 49/06
, G01N 27/62
, H01J 49/26
