特許
J-GLOBAL ID：200903057979410651
基板検査装置のマーキング機構
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
梶山 佶是 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-200814
公開番号（公開出願番号）：特開平11-031871
出願日： 1997年07月10日
公開日（公表日）： 1999年02月02日
要約：
【要約】【課題】 従来のマーキング機構の諸欠点を解消する。【解決手段】 マーキング機構7は、第1のエアシリンダ711 と、その作動軸712 の先端に弾性的に結合された印判部713 よりなるスタンプ部71と、第2のエアシリンダ721 と、その作動軸722 の先端に接触し、かつガイド板723 に沿って昇降するローラRを有する回動板724 、ガイド棒725 に沿って昇降する平行リンク726 、および平行リンク726 の先端に固定されたキャップ727 よりなるキャップ着脱部72とにより構成される。【効果】 調整が容易で、印面のインクの乾燥が防止され、正確に待避してマーキングに支障せず、基板1の湾曲にかかわらずマークを鮮明にマーキングする。
請求項（抜粋）：
基板の欠陥を検出し、検出した欠陥の位置に欠陥マークをマーキングするマーキング機構を具備する基板検査装置において、該欠陥マークを刻んだ印面をキャップにより気密にカバーされた印判と、および該印判を弾性的に押圧する第1のエアシリンダを有するスタンプ部と、該キャップを先端に取り付けた平行リンク、および該平行リンクの先端を回動して該キャップを該印面に着脱する第2のエアシリンダを有するキャップ着脱部、とにより前記マーキング機構を構成したことを特徴とする、基板検査装置のマーキング機構。
FI (2件)：
H05K 3/00 P
, H05K 3/00 V
