特許

J-GLOBAL ID：200903057980100810

シミュレ-ション装置、シミュレ-ション方法、シミュレ-ションプログラムを格納した記録媒体および固体電子装置の製造方法

発明者： 山内 淳
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 三好 秀和 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-371586
公開番号（公開出願番号）：特開2000-195766
出願日： 1998年12月25日
公開日（公表日）： 2000年07月14日
要約：

【要約】【課題】 アトミックスケールからメゾスコピックスケールの寸法を有した固体材料の構造を短時間で効率的に、かつ高精度にシミュレーションする。【解決手段】 全系を部分系に分割する分割部21と、各部分系に対して圧力を計算する部分系圧力計算部22と、各部分系のそれぞれの原子位置に関する全エネルギーEの2階微分を計算する2階微分計算部23と、各部分系の全エネルギーEの2階微分を接続して、振動数を計算する格子振動計算部24からなる中間階層シミュレータ20を有する。第一原理計算で行われている数十原子程度からナノスケール領域の範囲の系の振動モードの高精度シミュレーションが可能である。

請求項（抜粋）：

全系を複数の部分系に分割する分割部と、前記複数の部分系に対して圧力を計算する部分系圧力計算部と、前記複数の部分系において、与えられた原子配列からなる系の各原子位置に関する全エネルギーの2階微分を計算する2階微分計算部と、前記複数の部分系の前記2階微分を接続して、全系の振動数を計算する格子振動計算部とからなる中間階層シミュレータを有することを特徴とするシミュレーション装置。

IPC (3件)：

H01L 21/00 ,  H01L 21/205 ,  G06F 17/50

FI (3件)：

H01L 21/00 ,  H01L 21/205 ,  G06F 15/60 612 H

Fターム (9件)：

5B046AA08 ,  5B046BA08 ,  5B046JA04 ,  5B046JA08 ,  5F045AB30 ,  5F045AF03 ,  5F045AF13 ,  5F045BB08 ,  5F045GB17