特許

J-GLOBAL ID：200903057991828300

照明装置及びこれを用いた露光装置

発明者： 岸野 英朗
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 飯塚 雄二 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-201086
公開番号（公開出願番号）：特開平10-027751
出願日： 1996年07月11日
公開日（公表日）： 1998年01月27日
要約：

【要約】【課題】 照明装置の小型化を図ること。【解決手段】 照明用の光(L)の光軸に対して略垂直な基準面(Ru)を有するシャッタ(34)と、遮光時にシャッタ(34)を光路中に挿入し、非遮光時に光路外に退避させる駆動手段(36,38)とを備える。シャッタ(34)の表面に、基準面(Ru)に対して所定角度傾いたテーパ状反射部(50a,50b)を形成する。

請求項（抜粋）：

照明用の光を所定部材に照射する照明装置において、前記光の光軸に対して略垂直な基準面を有するシャッタと;前記光の遮光時に前記シャッタを前記光の光路中に挿入し、非遮光時に前記光路外に退避させる駆動手段とを備えるとともに、前記光が入射する前記シャッタの表面に前記基準面に対して所定角度傾いたテーパ状反射部を形成したことを特徴とする照明装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (5件)：

H01L 21/30 515 A ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 E ,  H01L 21/30 516 D ,  H01L 21/30 527