特許
J-GLOBAL ID：200903058009765399
薄膜アレイ超音波変換器とその形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
磯村 雅俊
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-114628
公開番号（公開出願番号）：特開平5-316596
出願日： 1992年05月07日
公開日（公表日）： 1993年11月26日
要約：
【要約】【目的】 本発明の目的はアレイ素子形成法を工夫し、微細なピッチのアレイ素子から構成される薄膜アレイ超音波変換器を提供することにある。【構成】 音響媒体面上に下部電極膜,圧電薄膜および上部電極膜から成る微細な超音波変換素子を多数アレイ状に配列し、密着形成した薄膜アレイ超音波変換器において、前記圧電薄膜中のアレイ素子間の溝形成部分に対応した位置に、予め、結晶度の低い材料を成長させておき、該結晶度の低い材料から成る部分に、エッチングにより、前記アレイ素子間の溝を形成したことを特徴とする薄膜アレイ超音波変換器およびその形成方法。
請求項（抜粋）：
音響媒体面上に下部電極膜,圧電薄膜および上部電極膜から成る微細な超音波変換素子を多数アレイ状に配列し、密着形成した薄膜アレイ超音波変換器において、前記圧電薄膜中のアレイ素子間の溝形成部分に対応した位置に、予め、結晶度の低い材料を成長させておき、該結晶度の低い材料から成る部分に、エッチングにより、前記アレイ素子間の溝を形成したことを特徴とする薄膜アレイ超音波変換器。
IPC (2件)：
H04R 17/00 332
, H04R 31/00 330
