特許
J-GLOBAL ID：200903058011675062

検出計セルおよび光学測定装置

発明者：
西本 尚弘

西本 尚弘 について


出願人/特許権者：
株式会社島津製作所

株式会社島津製作所 について


代理人 (1件)： 西岡 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-161317
公開番号（公開出願番号）：特開2000-346793
出願日： 1999年06月08日
公開日（公表日）： 2000年12月15日
要約：
【要約】【課題】 試料の流路断面積が分離キャピラリーカラムと同程度で、検出感度が良く、生産性のある検出計セルおよび光学測定装置を提供する。【解決手段】 ガラス板1とシリコン基板3をフッ酸で接合する。次に、シリコン基板3にフォトレジストをコーティングし、アライナーを使用してフォトマスクでパターンニングをし、露光・現像して、その後、シリコン基板3をドライエッチングすることにより、微小で精度の高い、高アスペクト比の断面を有する流路溝8を作製する。一方、ガラス板2に導入口2aと排出口2bをサンドブラスト法で加工し、加工したガラス板2を前記シリコン基板3上にフッ酸で接合する。検出計セル20は、ガラス板2とシリコン基板3とガラス板1の3層に接合されたものになる。
請求項（抜粋）：
液体試料を導入するための試料導入口と、導入された液体試料の流路と、液体試料を排出する試料排出口が設けられ、前記流路のうちの少なくとも一部の領域を測定室として用いる検出計セルにおいて、前記検出計セルが、ガラス板Aとシリコン基板とガラス板Bとを3層構造に接合して構成され、ガラス板Aには前記試料導入口と前記試料排出口とが設けられ、シリコン基板には液体試料の前記流路が設けられたことを特徴とする検出計セル。
IPC (2件)：
G01N 21/05 ,  G01N 30/74
FI (2件)：
G01N 21/05 ,  G01N 30/74 A
Fターム (12件)：
2G057AA01 ,  2G057AA14 ,  2G057AB01 ,  2G057AB03 ,  2G057AC01 ,  2G057BA05 ,  2G057BB02 ,  2G057BD02 ,  2G057CA10 ,  2G057DA06 ,  2G057DB05 ,  2G057DC07
引用特許：
審査官引用 (7件)
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