液浸リソグラフィ用の屈折投影対物レンズ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田辺徹
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-575190
公開番号（公開出願番号）：特表2005-519348
出願日： 2003年02月26日
公開日（公表日）： 2005年06月30日
要約：

【課題】液浸リソグラフィに適しており、妥当な全体寸法であると共に、液浸リソグラフィに適した高開口数、ウェハステッパまたはウェハスキャナに実際に使用するのに十分な大きさの像フィールド、及び良好な補正状態を備えた屈折投影対物レンズを製造する。【解決手段】屈折投影対物レンズにおいて、該投影対物レンズの最終光学素子と該投影対物レンズの像面との間に配置された液浸媒体を使用して、該投影対物レンズの物体面上に配置されたパターンを前記像面に投影する屈折投影対物レンズであって、前記物体面に続く、負の屈折力を有する第1レンズ群(LG1)と、該第1レンズ群に続く、正の屈折力を有する第2レンズ群(LG2)と、該第2レンズ群に続く、負の屈折力を有する第3レンズ群(LG3)と、該第3レンズ群に続く、正の屈折力を有する第4レンズ群(LG4)と、該第4レンズ群に続く、正の屈折力を有する第5レンズ群(LG5)と、前記第4及び第5レンズ群間の最大ビーム直径の領域内に配置された光学系アパーチュア(5)と、を備える屈折投影対物レンズ。

請求項（抜粋）：

屈折投影対物レンズにおいて、該投影対物レンズの最終光学素子と該投影対物レンズの像面との間に配置された液浸媒体を使用して、該投影対物レンズの物体面上に配置されたパターンを前記像面に投影する屈折投影対物レンズであって、前記物体面に続く、負の屈折力を有する第1レンズ群(LG1)と、該第1レンズ群に続く、正の屈折力を有する第2レンズ群(LG2)と、該第2レンズ群に続く、負の屈折力を有する第3レンズ群(LG3)と、該第3レンズ群に続く、正の屈折力を有する第4レンズ群(LG4)と、該第4レンズ群に続く、正の屈折力を有する第5レンズ群(LG5)と、前記第4及び第5レンズ群間の最大ビーム直径の領域内に配置された光学系アパーチュア(5)と、を備える屈折投影対物レンズ。

IPC (4件)：

G02B13/24 , G02B13/18 , G03F7/20 , H01L21/027

FI (4件)：

G02B13/24 , G02B13/18 , G03F7/20 521 , H01L21/30 515D

Fターム (24件)：

2H087KA21 , 2H087LA01 , 2H087NA02 , 2H087NA04 , 2H087PA15 , 2H087PA16 , 2H087PB20 , 2H087QA03 , 2H087QA05 , 2H087QA19 , 2H087QA22 , 2H087QA26 , 2H087QA33 , 2H087QA41 , 2H087QA45 , 2H087RA05 , 2H087RA12 , 2H087RA13 , 2H087RA42 , 2H087UA03 , 2H087UA04 , 2H087UA09 , 5F046CB05 , 5F046CB12

引用特許：

審査官引用 (1件)

非球面レンズ表面が隣接して配置されている投影対物レンズ
公報種別：公表公報出願番号：特願2001-550065 出願人：カール・ツアイス・スティフツング・トレーディング・アズ・カール・ツアイス

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