特許
J-GLOBAL ID：200903058016577689
真空チャック
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
尾川 秀昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-336555
公開番号（公開出願番号）：特開平9-181156
出願日： 1995年12月25日
公開日（公表日）： 1997年07月11日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 液中でも気中でも使用可能であり、しかも真空エネルギー源が無くても使用が可能な真空チャックを提供する。【解決手段】 堤状部13は保持対象物103の表面(ウェーハの裏面)に当接され、その表面の或る範囲を包囲する。堤状部の開口部にはダイアフラム14が展張されており、このダイアフラムはダイアフラム付勢手段15で(キャビティが減圧されることで)、保持対象物表面から離間する方向へ付勢される。これでダイアフラムと保持対象物表面の間の空間に負圧が生じ、保持対象物が吸着保持される。
請求項（抜粋）：
保持対象物に当接され、該保持対象物表面の或る範囲を包囲する堤状部と、前記堤状部の開口部に展張されたダイアフラムと、前記保持対象物表面から離間する方向へ前記ダイアフラムを付勢し、前記堤状部と前記ダイアフラムと前記保持対象物の表面とで包囲された空間に負圧を発生させるダイアフラム付勢手段とを備えたことを特徴とする真空チャック。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B23Q 3/08
, B65G 49/07
H01L 21/68 P
, B23Q 3/08 A
, B65G 49/07 G
