特許
J-GLOBAL ID：200903058022753758
湿式レーザ加工方法およびレーザ加工ヘッド
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-110796
公開番号（公開出願番号）：特開平6-031479
出願日： 1993年05月13日
公開日（公表日）： 1994年02月08日
要約：
【要約】【目的】レーザ加工に際しての初期設定が簡単で、かつレーザ加工中にアシスト液の液面が変動してもワークに対する集光点の変位がなく、さらにレーザ加工中にワークから発生した気泡をレーザビームの照射点から効果的に排除して安定よく加工が行えるようにした湿式レーザ加工方法を提供する。【構成】加工容器7内に満たしたアシスト液6の液中にワーク4を浸漬し、レーザ発振器1より集光レンズ3を通じてワークにレーザビームを照射して除去加工を行うレーザ加工方法において、レーザビームに光軸を合わせて集光レンズを内蔵したレーザ加工ヘッド15をワークの上方位置に対向配置するとともに、該加工ヘッドの先端ノズル部15aを加工容器内でアシスト液の液面下に浸たし、かつノズル部内を充満させるように外部から供給したアシスト液をノズル部よりワークに向けて噴出させながらレーザビームを照射して加工を行う。
請求項（抜粋）：
ワークの加工面にアシスト液を供給しつつ、レーザ発振器より出射したレーザビームを集光レンズ内蔵のレーザ加工ヘッドを通じてワークの加工面に照射して除去加工を行う湿式レーザ加工方法において、ワークを加工容器に満たしたアシスト液中に浸漬した状態で、レーザ加工ヘッドの先端ノズル部をワークの加工地点に向けて上方から加工容器内に満たしたアシスト液の液面下に浸し、かつレーザ加工ヘッドの内部をアシスト液で満たして加工を行うことを特徴とする湿式レーザ加工方法。
IPC (2件)：
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