特許

J-GLOBAL ID：200903058033462933

ウェハの洗浄方法

発明者： 畑田 伸二
出願人/特許権者： 住友金属工業株式会社
代理人 (1件)： 井内 龍二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-071013
公開番号（公開出願番号）：特開平5-275411
出願日： 1992年03月27日
公開日（公表日）： 1993年10月22日
要約：

【要約】【構成】 薬液蒸気を用いて減圧条件化でウェハ11の洗浄を行なうウェハの洗浄方法において、前記薬液蒸気の洗浄室10への導入に先立ち、前記薬液希釈用の溶媒蒸気を導入し、この後前記薬液蒸気を導入して洗浄を行なうウェハの洗浄方法。【効果】 自然酸化膜等の薄い酸化膜の除去に関して高い均一性と高い再現性を得ることができる。

請求項（抜粋）：

薬液蒸気を用いて減圧条件下でウェハの洗浄を行なうウェハの洗浄方法において、前記薬液蒸気の洗浄室への導入に先立ち、前記薬液蒸気希釈用の溶媒蒸気を導入することを特徴とするウェハの洗浄方法。