特許

J-GLOBAL ID：200903058037363735

クリーンルームの清浄化方法および粉塵除去用フィルタ

発明者： 村尾 圭子 ,  奥井 芳子
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-084276
公開番号（公開出願番号）：特開平5-285324
出願日： 1992年04月07日
公開日（公表日）： 1993年11月02日
要約：

【要約】【目的】 クリーンルームの清浄化方法に関し、供給する空気に含まれる硼素の除去を目的とする。【構成】 クリーンルームにおいて、粉塵除去用の濾材として使用するガラス繊維が、この表面にD-マニトールまたはこの異性体を被覆して使用することを特徴としてクリーンルームの清浄化方法を構成する。

請求項（抜粋）：

クリーンルームにおいて、粉塵除去用の濾材として使用するガラス繊維が、該ガラス繊維の表面にD-マニトールまたはこの異性体を被覆して使用することを特徴とするクリーンルームの清浄化方法。