特許

J-GLOBAL ID：200903058039219534

スクライブ装置および方法

発明者： 下豊留 暁
出願人/特許権者： 株式会社ベルデックス ,  テイエチケー株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 昇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-009293
公開番号（公開出願番号）：特開平11-314928
出願日： 1998年03月30日
公開日（公表日）： 1999年11月16日
要約：

【要約】【課題】 ワーク破断に先立ってワーク面に刻線を形成するスクライブ装置において、刻線を安定して良好に形成できるようにする。【解決手段】 ボデイ10には、ホルダ20が微少量のスライドを可能にして支持されている。ホルダ20の受部21とボデイ10の受部15との間には、振動アクチュエータ40が配置されている。ホルダ20の下端部にはカッタ30(当接部材)が取り付けられている。ボデイ10とホルダ20の自重でカッタ30をワーク面に押し付けられた状態で、振動アクチュエータ40を駆動してカッタ30に振動を付与しながら、カッタ30をワーク面に沿って相対的に移動させることにより、ワーク面に刻線を形成する。ホルダ20のスライド軸はワーク100の相対的移動方向の反対側に傾いている。

請求項（抜粋）：

(イ)受部を有するボデイと、(ロ)上記ボデイに、ワーク面と交差するスライド軸方向にスライド可能に支持され、かつ上記ボデイの受部から上記スライド軸方向に離間した受部を有するホルダと、(ハ)上記ボデイとホルダの受部に挟まれ、上記スライド軸方向の振動を上記ホルダに付与する振動アクチュエータと、(ニ)上記ホルダに保持され、ホルダに付与された振動をワークに伝える硬性の当接部材と、を備えたスクライブ装置において、上記スライド軸が、上記ワークの相対的移動方向の反対側に傾いていることを特徴とするスクライブ装置。

IPC (4件)：

C03B 33/027 ,  B26F 3/00 ,  B28D 5/00 ,  H01L 41/09

FI (4件)：

C03B 33/027 ,  B26F 3/00 A ,  B28D 5/00 Z ,  H01L 41/08 C