特許

J-GLOBAL ID：200903058039238024

クイックカップリングを用いた簡易真空窓枠及び真空装置

発明者： 茅 幸二 ,  中嶋 敦 ,  實方 真臣
出願人/特許権者： 学校法人 慶應義塾 ,  日本学術振興会
代理人 (1件)： 眞鍋 潔 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-260100
公開番号（公開出願番号）：特開2002-066300
出願日： 2000年08月30日
公開日（公表日）： 2002年03月05日
要約：

【要約】【課題】 クイックカップリングを用いた簡易真空窓枠及び真空装置に関し、任意の光学材質の光学窓の使用を可能にするとともに、歪みを発生することなく窓有効面積を増大する。【解決手段】 フランジ1と、フランジ1をビューポート7に対して真空シールするO-リング6を支持するセンターリング2に光学窓3を挿入・支持する凹部13及び光学窓3を真空シールするO-リング5を収容するO-リング溝14を設ける。

請求項（抜粋）：

フランジと、前記フランジをビューポートに対して真空シールするO-リングを支持するセンターリングからなるクイックカップリングを用いた簡易真空窓枠において、前記センターリングに光学窓を挿入・支持する凹部及び前記光学窓を真空シールするO-リングを収容するO-リング溝を設けたことを特徴とするクイックカップリングを用いた簡易真空窓枠。

IPC (4件)：

B01J 3/00 ,  C23C 16/44 ,  F16J 15/06 ,  H01L 21/205

FI (4件)：

B01J 3/00 K ,  C23C 16/44 B ,  F16J 15/06 C ,  H01L 21/205

Fターム (14件)：

3J040AA02 ,  3J040AA11 ,  3J040AA17 ,  3J040BA02 ,  3J040CA01 ,  3J040HA03 ,  3J040HA09 ,  3J040HA15 ,  3J040HA30 ,  4K030FA15 ,  4K030KA37 ,  5F045AA11 ,  5F045EB10 ,  5F045EC03