特許

J-GLOBAL ID：200903058040040637

蛍光X線分析装置

発明者： 和多田 篤行
出願人/特許権者： 株式会社リコー
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-260206
公開番号（公開出願番号）：特開2001-083110
出願日： 1999年09月14日
公開日（公表日）： 2001年03月30日
要約：

【要約】【課題】 簡単な構成により、一度の測定で多数の元素の蛍光X線分析を短時間で効率的に行うことが可能な蛍光X線分析装置を提供することにある。【解決手段】 X線発生ユニット1から、複数種の波長の励起X線を周期的に繰り返し発生させ、発生した励起X線が試料2に順次照射され、試料2の含有元素に対応して、試料2から発生する複数種の蛍光X線が、X線検出ユニット3において、分光角方向に走査駆動されるX線検出器による検出信号のピーク位置により検出され、ゲート信号発生回路5から、複数の励起X線の発生期間に対応して出力されるゲート信号Fg1、Fg2に基づき、ゲート回路6において、X線検出ユニット3のX線検出器が検出した複数元素の蛍光X線の検出信号が選択出力され、簡単な構成により試料2の複数の含有元素の蛍光X線分析による元素分析を、一度の測定で短時間に効率的に雑音の混入なしに高精度で行うことが可能になる。

請求項（抜粋）：

それぞれ固有波長の複数の励起X線を周期的に切り換えて発生するX線発生手段と、該X線発生手段からの励起X線が照射される試料から、前記試料の含有元素に対応して発生する蛍光X線を検出するX線検出手段と、前記X線発生手段の前記複数の励起X線の発生タイミングに対応するゲート信号を出力するゲート信号出力手段と、該ゲート信号出力手段からのゲート信号によって、前記X線検出手段での前記蛍光X線の検出動作を選択する検出選択手段とを有することを特徴とする蛍光X線分析装置。

Fターム (13件)：

2G001AA01 ,  2G001AA10 ,  2G001BA04 ,  2G001CA01 ,  2G001DA01 ,  2G001EA02 ,  2G001EA03 ,  2G001EA06 ,  2G001GA01 ,  2G001JA04 ,  2G001JA06 ,  2G001JA11 ,  2G001KA01