特許

J-GLOBAL ID：200903058041211354

導電性薄膜形成用化学蒸着材料および形成方法

発明者： 佐藤 光史 ,  西出 利一 ,  阪下 好顕 ,  大槻 哲也
出願人/特許権者： 帝国化学産業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-271850
公開番号（公開出願番号）：特開平11-061407
出願日： 1997年08月27日
公開日（公表日）： 1999年03月05日
要約：

【要約】【課題】無機材料表面に導電性薄膜を化学蒸着法により形成するのに適した材料の提供【解決手段】無機インジウム化合物とエチレンジアミン四酢酸等アミノポリカルボン酸とを反応させてインジウム錯体の水素塩をつくり、または得られたインジウム錯体の水素塩にアミンを反応させてインジウム錯体のアミン塩をつくり、これらを化学蒸着材料とする。更に、これにスズ化合物を適量配合したものも化学蒸着材料として使用できる。

請求項（抜粋）：

インジウムにアミノポリカルボン酸イオンが配位したインジウム錯体の水素塩および/またはアルキルアミンとの塩である導電性薄膜形成用化学蒸着材料

IPC (2件)：

C23C 16/40 ,  H01B 13/00 503

FI (2件)：

C23C 16/40 ,  H01B 13/00 503 B