特許

J-GLOBAL ID：200903058049415196

熱型赤外線検出器の製造方法

発明者： 小田 直樹
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-123830
公開番号（公開出願番号）：特開2003-004525
出願日： 1999年11月30日
公開日（公表日）： 2003年01月08日
要約：

【要約】【課題】 画素の大きさに応じて温度分解能を最小とするような最適な長さの梁を有する熱型赤外線検出器の製造方法を提供する。【解決手段】 読み出し回路が設けられた基板1には、ボロメータ薄膜を含むダイアグラム2と、ダイアグラム2を基板1と間隔をあけて支持する2本の梁3とを有する画素を配列する。各梁3には、ボロメータ薄膜と読み出し回路とを接続するための配線6が設けられている。各梁3の長さは、各梁3の長さを画素の周長の1/4で割った梁長指数によって与える。梁長指数は、温度分解能の式に基づいて、画素のパターニングに用いられるステッパの種類及び配線6の材料の熱伝導率に応じて求められた、画素ピッチをパラメータとする近似式で与える。

請求項（抜粋）：

読み出し回路が設けられた基板を準備し、前記基板上に配列ピッチpが15≦p≦50(μm)で配列された複数の画素を形成し、前記各画素はそれぞれ、i線ステッパによってパターニングされて形成された、ボロメータ薄膜を含み前記基板と間隔をあけて設けられた受光部と、該受光部を前記基板に対して支持する2本の梁と、前記読み出し回路と前記ボロメータ薄膜とを接続するために前記各梁に設けられた配線とを有し、前記各梁は、前記受光部の互いに対向する辺の、前記受光部の中心に対して点対称となるような位置で前記受光部と接続されており、前記各梁の長さを前記画素の周長の1/4で割った梁長指数nを、前記配線の材料の熱伝導率kが0.065≦k≦0.09(W/(cm・K))の場合はN=-1.8×10-4p3+1.4×10-2p2-0.27p+2.5とし、前記配線の材料の熱伝導率kが0.10≦k≦0.15(W/(cm・K))の場合は N=-1.5×10-4p3+1.3×10-2p2-0.24p+2.3とし、前記配線の材料の熱伝導率kが0.16≦k≦0.22(W/(cm・K))の場合はN=-1.1×10-4p3+9.6×10-3p2-0.17p+1.8として、0.85N≦n≦1.15Nで与える、熱型赤外線検出器の製造方法。

IPC (5件)：

G01J 1/02 ,  G01J 5/02 ,  H01L 27/14 ,  H01L 37/00 ,  H01L 37/02

FI (6件)：

G01J 1/02 C ,  G01J 1/02 Q ,  G01J 5/02 C ,  H01L 37/00 ,  H01L 37/02 ,  H01L 27/14 K

Fターム (17件)：

2G065AA04 ,  2G065AA08 ,  2G065AB02 ,  2G065BA11 ,  2G065BA12 ,  2G065BA13 ,  2G065CA13 ,  2G065DA20 ,  2G066BA04 ,  2G066BA08 ,  2G066BA09 ,  2G066BA55 ,  4M118AB01 ,  4M118BA07 ,  4M118CA19 ,  4M118CA20 ,  4M118CB12

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 熱型赤外線検出器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-340323   出願人：日本電気株式会社