特許
J-GLOBAL ID：200903058056881887
走査型トンネル顕微鏡
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 幸彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-177967
公開番号（公開出願番号）：特開平5-026612
出願日： 1991年07月18日
公開日（公表日）： 1993年02月02日
要約：
【要約】【構成】走査型トンネル顕微鏡の走査装置において探針8及び試料12の表面の損傷防止、信頼性の高いデータ採取及び簡便、かつ、高精度の仕事関数測定のために、走査素子7と探針8の間に、圧力に対し信号を発する素子を設け、探針8が試料12の表面に接触したとき、表示装置に探針8が接触したことを指示する、あるいは装置の動作を中断する機構。【効果】探針および試料表面の損傷を防ぐことができ、仕事関数を簡単かつ高精度に求めることができる。
請求項（抜粋）：
三次元方向に駆動可能な駆動素子及び前記駆動素子に取り付けられた探針を備えた走査型トンネル顕微鏡において、前記駆動素子と前記探針の間に前記探針が試料表面に接触した時に信号を発する素子を設けたことを特徴とする走査型トンネル顕微鏡。
IPC (2件)：
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