特許

J-GLOBAL ID：200903058057331619

静電チャック

発明者： 梅津 基宏 ,  石井 守 ,  石田 弘徳 ,  白川 洋一
出願人/特許権者： 太平洋セメント株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-241173
公開番号（公開出願番号）：特開2001-068539
出願日： 1999年08月27日
公開日（公表日）： 2001年03月16日
要約：

【要約】【課題】 腐蝕性の高いガス中で使用しても、有機系接着剤の侵蝕を防ぐことのできる静電チャックを提供すること。【解決手段】 被吸着物を吸着する吸着面を有する誘電層基板の下部に電極を配し、その電極の下部にさらに支持基板を配し、その誘電層基板と支持基板とを有機系接着剤により接着した静電チャックにおいて、該有機系接着剤の露出部分が、無機系被覆材により被覆されていることとした静電チャック。

請求項（抜粋）：

被吸着物を吸着する吸着面を有する誘電層基板の下部に電極を配し、その電極の下部にさらに支持基板を配し、その誘電層基板と支持基板とを有機系接着剤により接着した静電チャックにおいて、該有機系接着剤の露出部分が、無機系被覆材により被覆されていることを特徴とする静電チャック。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/08 ,  H02N 13/00

FI (3件)：

H01L 21/68 R ,  B23Q 3/08 A ,  H02N 13/00 D

Fターム (7件)：

3C016AA01 ,  3C016BA01 ,  3C016CE05 ,  3C016GA10 ,  5F031CA02 ,  5F031HA16 ,  5F031MA32