回路基板プロービング装置及び方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：京本直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-198804
公開番号（公開出願番号）：特開平10-038980
出願日： 1996年07月29日
公開日（公表日）： 1998年02月13日
要約：

【要約】【課題】フレキシブル回路基板(FPC)に変形があっても、電気的接続不良をおこすこと無くプロービングを行う。【解決手段】まず、FPC1のリード上を静電容量型変位センサ8が横切るようにしてリード11部分が山の頂点で基材12部分が谷の底となるような周期性を持つ波形となる静電容量センサ8の出力信号からリードの位置及び高さの位置データを求め、得られた位置データに基づいて、プロービングすべきリード11をプローブ4の真下に位置決めし、リード11の高さデータに基づいて、支え6をFPC1の裏面に近接させる。最後に、プローブ4をリード11に接触させるが、このとき、プローブ4の押し込みが所定量になるように、リード11の高さデータに基づいてプローブ4の押込み量を制御する。

請求項（抜粋）：

回路基板を載置し、この回路基板のプロービング領域の下方は開放されているベースと、前記回路基板のリードが設けられた面側に配置され前記回路基板のリードと電気的な接続を行うためのプローブと、前記プローブを上下させるプローブステージと、前記回路基板のリードが設けられた面とは反対の面側であって前記プローブと対向する位置に配置された支えと、前記支えを上下させる支えステージと、前記プローブ及び前記支えに対し前記ベースを水平面内で相対的に移動させる移動ステージと、前記回路基板のリードの位置及び高さを検出するリード位置検出手段と、前記リード位置検出手段が検出した前記回路基板のリードの位置及び高さに応じて前記回路基板のリードを前記プローブの真下に位置決めするよう前記移動ステージを制御し、前記支えの先端が前記回路基板に近接するように前記支えステージを制御し、前記プローブの荷重が適切になるように前記プローブステージを制御する制御部とを含むことを特徴とする回路基板プロービング装置。

IPC (6件)：

G01R 31/28 , G01B 7/00 , G01B 11/00 , G01R 1/06 , G01R 31/02 , H05K 3/00

FI (6件)：

G01R 31/28 K , G01B 7/00 K , G01B 11/00 B , G01R 1/06 E , G01R 31/02 , H05K 3/00 T

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